표 4. | Table 4. 설계 지표와 실제 제품 간 비교 | Simulation Table

항목 설계치 실측치 비고
공진기-1 폭 25μm 25μm 공진기-9 폭
공진기 1-2 간격 25μm 25μm 공진기 8-9 간격
공진기-2 폭 25μm 25μm 공진기-8 폭
공진기 2-3 간격 25μm 25μm 공진기 7-8 간격
공진기-3 폭 25μm 25μm 공진기-7 폭
공진기 3-4 간격 25μm 25μm 공진기 6-7 간격
공진기-4 폭 25μm 25μm 공진기-6 폭
공진기 4-5 간격 25μm 25μm 공진기 5-6 간격
공진기-5 폭 25μm 25μm -